江苏联赢半导体技术有限公司李凯获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏联赢半导体技术有限公司申请的专利晶圆划线设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224088200U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520776885.8,技术领域涉及:B23K26/359;该实用新型晶圆划线设备是由李凯;王世星;谢霄飞;杨军设计研发完成,并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆划线设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆划线设备,包括:XY平台;第一调节架板,沿第一方向可移动地设置于XY平台;第二调节架板,沿第二方向可移动地设置于第一调节架板,第二调节架板上配置有夹具,用于固定晶圆;第二方向与第一方向垂直;XY平台上装配有激光划线模块和视觉组件,视觉组件用于获取晶圆的位置数据,激光划线模块用于对晶圆划线。本实用新型的第一调节架板配合第二调节架板以驱动晶圆在水平面内运动,可使得该晶圆划线设备实现多种划线图案,从而提高了该晶圆划线设备的通用性,夹具相对于激光划线模块运动,也即激光划线模块与XY平台保持相对静止状态,提供了出光的稳定性,有利于提高晶圆划线设备的划线精度。
本实用新型晶圆划线设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆划线设备,其特征在于,包括: XY平台; 第一调节架板,沿第一方向可移动地设置于所述XY平台; 第二调节架板,沿第二方向可移动地设置于所述第一调节架板,所述第二调节架板上配置有夹具,用于固定晶圆;所述第二方向与所述第一方向垂直; 所述XY平台上装配有激光划线模块和视觉组件,所述视觉组件用于获取晶圆的位置数据,所述激光划线模块用于对晶圆划线。
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