上海新微技术研发中心有限公司钟吉琛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种晶圆清洗转盘及晶圆清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224087539U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520485696.5，技术领域涉及：B08B11/00；该实用新型一种晶圆清洗转盘及晶圆清洗机是由钟吉琛设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗转盘及晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆清洗转盘及晶圆清洗机，包括转盘，所述转盘上均匀设置有多个用于放置晶圆片盒的放置位，所述放置位由多根限位柱界定；所述放置位前设置有固定柱，通过所述固定柱与所述限位柱配合对所述晶圆片盒进行限位。还提供一种晶圆清洗机，采用上述晶圆清洗转盘，所述晶圆清洗转盘设置于清洗腔体内；还包括旋转驱动装置，设置于所述转盘下侧驱动所述转盘旋转。在转盘放置位前设置多根固定柱，固定柱设置于放置位前，通过固定柱与限位柱配合，对晶圆片盒进行限位，确保晶圆片盒位置放置正确，在晶圆清洗机工作过程中，转盘旋转时，晶圆不会被甩出，防止晶圆破碎。
本实用新型一种晶圆清洗转盘及晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗转盘，其特征在于，包括转盘1，所述转盘1上均匀设置有多个用于放置晶圆片盒的放置位2，所述放置位2由多根限位柱界定；所述放置位2前设置有固定柱11，通过所述固定柱11与所述限位柱配合对所述晶圆片盒进行限位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新微技术研发中心有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区菊园新区胜竹路1399号2幢9层930室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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